试验结果表明,基于蒸馏法的铟锡资源化工艺可实现更彻底的铟锡分离效果:在实现99.52%的锡去除率的同时,铟的收率高达99.70%。本研究在获得更高的铟锡直收率的同时,可得到高品质的金属铟产品及副产品五水氯化锡;且蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后可回用至盐酸浸出工序,节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
ITO(氧化铟锡)靶材是溅射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一种,在显示靶材中占比将近50%。ITO靶材就是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。
ITO靶材生产所消耗的铟锭占全球铟消费总量的70%左右,其它包括电子半导体领域、合金和焊料领域、研究行业。全球预估铟储量仅5万吨,其中可开采部分仅有50%。
目前中国ITO靶材供应超一半左右依赖进口。本土厂商生产的ITO靶材主要供应中低端市场,仅占国内市场30%的份额;而高端TFT-LCD、触摸屏用ITO靶材几乎全部从日本、韩国进口,占据了70%的市场份额。