电浆的产生是利用直流、交流、射频或微波能源的方式，在适当的低压状态（约100mTorr至1Torr(1atm=760Torr)及密闭空间通以电源（12ev)，将通入密闭空间之气体离子化，产生气态之粒子；利用离子化之粒子及借由极板所提供之电场，加速粒子间之撞击作用。而经由撞击产生之二次电子与通入密闭空间之气态粒子，尤其是不带电荷的气体分子及原子团再次发生撞击。在撞击之间便产生了电浆及火光。而经由撞击之电子与粒子相结合而变成原子团。